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Sistemas de guiado lineal de elevada precisión para mesas cruzadas X-Y

Para dar estructura a los chips, éstos se recubren con una laca altamente foto-sensible. Esta laca se expone a través de una máscara y se descompone cuando disminuye la luz.

En la próxima generación de la producción de semiconductores, el objetivo es producir estructuras de menos de 60 nm de tamaño para alcanzar mayor densidad de almacenaje y mayores velocidades de conexión.

Las mesas cruzadas X-Y, accionadas por motores lineales, mueven el substrato y la máscara de proyección. La máquina se basa en una bancada rígida de granito, amortiguadora de las vibraciones, y un sistema de guiado de elevada precisión como, por ejemplo, el sistema lineal con recirculación de rodillos RUE de INA. Este sistema, extremadamente silencioso, se caracteriza por una resistencia uniforme al desplazamiento, para elevadas carreras repetitivas y alta precisión de posicionado.